日本 NPS 四探針電阻測(cè)試儀

更新日期：2026-04-16

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廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商

生產(chǎn)地址：日本

簡(jiǎn)要描述：

日本 NPS 四探針電阻測(cè)試儀sigma-5 + ，用于硅晶圓、ITO 薄膜等材料的電阻率 / 方阻檢測(cè)。具備高精度、寬量程特性，支持多種測(cè)試模式，適配半導(dǎo)體、顯示面板等行業(yè)的材料檢測(cè)需求，運(yùn)行穩(wěn)定。

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產(chǎn)品介紹

1. 產(chǎn)品概述

日本 NPS 四探針電阻測(cè)試儀sigma-5 +，是專為半導(dǎo)體、薄膜材料檢測(cè)設(shè)計(jì)的高精度測(cè)試設(shè)備。產(chǎn)品采用四探針測(cè)試原理，可實(shí)現(xiàn)寬量程的電阻率與方阻測(cè)試，滿足半導(dǎo)體晶圓、ITO 透明導(dǎo)電膜等材料的高精度檢測(cè)需求，是材料導(dǎo)電性能檢測(cè)的專業(yè)儀器。

2. 核心技術(shù)參數(shù)

測(cè)試原理：四探針法（直線四探針法 / 范德堡法可選）
測(cè)試范圍：電阻率 10?? ~ 10? Ω?cm，方阻 10?? ~ 10? Ω/□
測(cè)試精度：±0.5%（滿量程），重復(fù)性 ±0.1%
探針配置：直線四探針，標(biāo)準(zhǔn)間距 1.0mm（可定制）
探針壓力：5g ~ 200g 連續(xù)可調(diào)
測(cè)試電流：1nA ~ 100mA 多檔位自動(dòng)切換
數(shù)據(jù)接口：RS232C/USB，支持?jǐn)?shù)據(jù)導(dǎo)出與上位機(jī)連接
供電規(guī)格：AC 100~240V，50/60Hz，全球通用寬電壓
適用樣品：硅晶圓、ITO 薄膜、導(dǎo)電玻璃、半導(dǎo)體薄膜、金屬薄膜等

3. 日本 NPS 四探針電阻測(cè)試儀sigma-5 + 產(chǎn)品核心特點(diǎn)

高精度測(cè)試：±0.5% 滿量程精度，滿足半導(dǎo)體、顯示面板等行業(yè)的高精度檢測(cè)要求
寬量程覆蓋：適配從金屬薄膜到半導(dǎo)體材料的全品類導(dǎo)電性能測(cè)試
多模式測(cè)試：支持直線四探針法、范德堡法，適配不同形狀、厚度的樣品
自動(dòng)化操作：支持多點(diǎn)掃描、自動(dòng)升降探針、自動(dòng)數(shù)據(jù)記錄，提升批量檢測(cè)效率
高適配性：可適配 4/6/8 英寸硅晶圓、玻璃基板、柔性薄膜等各類樣品
穩(wěn)定可靠：工業(yè)級(jí)硬件設(shè)計(jì)，抗干擾能力強(qiáng)，可在實(shí)驗(yàn)室、產(chǎn)線環(huán)境長(zhǎng)期運(yùn)行

4. 適用場(chǎng)景

廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造（硅晶圓、外延片檢測(cè)）、顯示面板行業(yè)（ITO 透明導(dǎo)電膜測(cè)試）、光伏行業(yè)（太陽能電池片檢測(cè)）、材料研發(fā)（新型導(dǎo)電材料性能測(cè)試）、電子元器件質(zhì)量管控等場(chǎng)景。

5. 安裝、使用與售后

安裝說明：設(shè)備為臺(tái)式分體式設(shè)計(jì)，按規(guī)范連接主機(jī)與測(cè)試臺(tái)，放置于平穩(wěn)工作臺(tái)，避免震動(dòng)
使用維護(hù)：定期校準(zhǔn)探針與測(cè)試系統(tǒng)，清潔探針與樣品載臺(tái)，保障測(cè)試精度
售后服務(wù)：提供專業(yè)安裝調(diào)試、操作培訓(xùn)、校準(zhǔn)服務(wù)，原廠技術(shù)支持與配件供應(yīng)
包裝運(yùn)輸：采用防震、防潮包裝，保障設(shè)備運(yùn)輸過程中不受損傷